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横型システム Model 200シリーズ
酸化・拡散・LPCVDなどの用途に使用でき、横型多段のバッチ式熱処理装置です。
結晶系太陽電池用横型拡散システム Model 206A
結晶系太陽電池のセル製造用横型拡散炉。PN接合用の不純物の拡散工程などに使用されています。
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