結晶系太陽電池のセル製造用横型拡散炉。PN接合用の不純物の拡散工程などに使用されています。

卓上式のコンパクトなR＆D用ランプアニール装置で、太陽電池の電極焼成やイオン注入後の活性化アニールなどに最適です。

搬送機構に金属メッシュベルトを採用した連続炉。金属マッフルの採用により、均熱性、気密性、雰囲気の安定性に優れています。