液晶（LCD）、有機EL（OLED）用ガラス基板のクリーン加熱装置。クリーン性能や生産性に優れるモデルです。

遠赤外線（IR）加熱を採用した枚葉式クリーンオーブンです。加熱効率に優れています。

真空中での熱処理に対応。真空ロードロックや基板搬送ロボットとの組み合わせも可能です。

最高500℃での熱処理が可能なバッチ式クリーンオーブン。バッチ式でありながら、生産性に優れたモデルです。

液晶やOLED（有機EL）、CIGS太陽電池、ポリイミドフィルム製造に対応した大口径縦型炉です。

搬送機構に特殊セラミックローラを採用した連続炉です。大型ガラス基板の搬送に対応可能です。

温度均一性、クリーン性能に優れる熱風循環式の連続オーブン。様々な搬送方式との組み合わせが可能です。

耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。

耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。